全國開設微機電系統工程專業的大學有北京航空航天大學、東莞理工學院、西北工業大學等，以下是具體大學名單一覽表，排名不分先后，希望對大家有所幫助。如有變動，還以學校最新公布的名單為準。

微機電系統工程專業是以機、電技術，尤其是微機械為基礎的，綜合多種學科領域技術的新型交叉學科。本專業的研究領域主要有微傳感器、微加速度計、微陀螺和微慣導系統、微光學器件、微測量技術等。